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SPM-Nanoa原子力顯微鏡性能特點：
自動觀察
自動完成光路調整、掃描參數設定、圖像處理
使用標準樣品和標準探針時操作用時5分鐘*
*自動觀察模式，掃描范圍1um× 1um ，256×256點陣。操作時長依賴于操作者。
傳統的原子力顯微鏡需要人工調整光路、設定掃描參數、進行圖像處理。但是SPM-Nanoa可以幫助用戶毫無壓力地完成這些操作。
性能優異
從光學顯微鏡到SPM/AFM，各模式下均可清晰地捕捉圖像
利用光學顯微鏡搜索目標區域，利用SPM可以方便地進行高分辨率觀察。利用與表面形狀圖像相同的視場可以獲得其他物理特性信息。
樣品：硅基底上的二氧化硅圖案
豐富多樣的掃描模式
從形貌觀察到基于力曲線測量的物性分析，支持廣泛的掃描模式。這意味著可以兼顧高分辨率與物性測試。
| 形貌 | 接觸模式、動態模式 |
|---|---|
| 機械性能 | 相位模式、側向力模式、力調制模式、Nano 3D Mapping Fast * |
| 電磁學 | 電流模式* 、磁力模式* 、表面電勢模式* 、壓電力模式* 、STM * |
| 納米加工 | 矢量掃描模式* |
| 環境支持 | 液體環境* |
*為選配部件
搜尋目標區域更容易
利用清晰地光學顯微鏡圖像，可以輕松找到目標區域，不用擔心振動的影響。
SPM-Nanoa集成了一體式高性能光學顯微鏡。
樣品視野
使用集成光學顯微鏡，樣品表面的3um間隔圖案清晰可見。
高分辨觀察表面物性
極軟樣品的變形或樣品局部的機械及電氣性能的差異，都可以獲得高分辨率的觀測圖像。
用表面電勢模式觀察云母基底上的金納米顆粒
該圖顯示了0.2um范圍內的表面電勢（右）和形貌圖像（左）
8K成像助力大范圍高分辨掃描
最大可支持8K（81929192）掃描點陣，大范圍區域的小細節也纖毫畢現。
觀察金屬蒸鍍膜
省時高效
支持功能功能模式高速觀察
通過高速觀察和物性高速成譜功能，顯著減少了觀測時間。
探針更換工具和樣品更換機構有效縮短了掃描準備時間。
三個*設計極大縮短了觀測時間。
高通量觀測
高速物性成譜
簡便順滑地樣品更換
便捷更換探針
高通量觀測
高速物性成譜
采用了可實現高速響應的HT掃描器并優化了控制算法，從而大幅縮短了觀察和物性成像的數據獲取時間
*觀測時間受參數設定影響
簡便順滑地樣品更換
高速物性成譜
一鍵式操作實現自動開啟、關閉平臺，放置和取出樣品。
由于固定了激光的照射位置，所以在樣品更換后可立即進行觀察。
探針更換簡單且可靠 Cantilever Master（選購）
僅需將探針放置在指定的位置，并使其沿著導軌滑動即可安裝，即使操作人員不習慣使用鑷子，也能夠簡單準確地進行操作。
